検査事例
半導体・液晶・NILなど、さまざまな分野における検査ソリューション事例をご紹介します。 お客様ごとの課題に合わせ、光学設計・照明設計・撮像技術を組み合わせた最適な検査システムをご提案しています。
ウェハ表面の異物・キズ・パターン欠陥を、 高速かつ高精度に検出するマクロ光学検査事例です。
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大面積基板に発生するキズ・異物・ムラなどを、 光学条件の最適化により安定して可視化する検査事例です。
サンプル評価や検査条件のご相談など、お気軽にお問い合わせください。
