マクロ光学検査とは
マクロ光学検査は、対象全体を高速かつ高精度に撮像し、 欠陥・異物・キズ・パターン不良などを検出する検査手法です。
スミックスでは光学設計・照明設計・撮像制御技術を組み合わせ、 お客様の検査工程に最適な検査システムをご提案しています。
検査対象
半導体向け
| ウェハ |
|---|
| 成膜後ムラ・異物・傷検査 |
| マイクロレンズムラ検査 |
| マスク |
| 成膜後検査 |
| 微細異物検査 |
FPD向け
| OLED |
|---|
| CF工程ムラ検査 |
| LTPSスジムラ検査 |
マクロ光学検査技術
マクロ光学検査は、対象全体を高速かつ高精度に撮像し、 欠陥・異物・キズ・パターン不良などを検出する検査手法です。
スミックスでは光学設計・照明設計・撮像制御技術を組み合わせ、 お客様の検査工程に最適な検査システムをご提案しています。
| ウェハ |
|---|
| 成膜後ムラ・異物・傷検査 |
| マイクロレンズムラ検査 |
| マスク |
| 成膜後検査 |
| 微細異物検査 |
| OLED |
|---|
| CF工程ムラ検査 |
| LTPSスジムラ検査 |
技術評価やサンプルワークのご相談は、 お気軽にお問い合わせください。